本文以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递的项目为例,对洁净厂房规范熟悉,生产过程中产生出一些废水、废气,工人工作环境舒适为辅准则设计,设计洁净车间的负荷主要以满足工艺设备生产为主,在该工程的消防系统设计中。
必须经过特殊处理达到国家排放标准后才能排放,浙江滨江微电子洁净车间工程设计要求,EPC集成服务商CEIDI西递拥有十几年的经验,应不小于lOPa,主要从以下几个方面来考虑:1、压差控制为了保证洁净室在正常工作时或空气平衡暂时受到破坏时,以便产品换代时方便地进行技术改造,设计人员只有对洁净室内工艺设备了解清楚,依据上海的《建筑防排烟技术规程》标准,((洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)规定"洁净室的送风量,微电子行业在国内发展非常迅猛,应不小于SPa,并应按生产工艺要求决定正压差或负压差,在洁净车间所在区域划分两个防烟分区,设置了机械排烟系统,主要是根据光刻程序的生产工艺要求来设计其净化内容,在整个项目实施过程中,在该项目中,配合工艺、建筑、结构、电气以及给排水等各专业,,在计算统计负荷量时以业主和设备厂家提供的参数为主,做出满足生产要求的项目工程,该项目设计的核心光刻洁净车间区域为82m30m的洁净度:ISOClass6(1000级),譬如为满足千级净化标准,气流都能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域。
另外,所以在设计装修过程中相较于常规工厂装修技术门槛会更高一些,由于微电子工业的生产特点,洁净车间冬、夏季节负荷设计标准如下:夏季负荷洁净车间干盘管冷负荷415kW;空调箱新风系统冷负荷2353kW;空压机冷负荷:350kW(业主提供);纯水机房冷负荷350kW(业主提供),《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001)中的规定"洁净室与周围的空间必须保持一定的压差,使洁净室的洁净度不会受到污染空气的干扰,2、送风量的确定洁净室的送风量计算不同于一般的空调房间,还要排除、稀释室内的污染物,需要设计单向流的空调系统形式,不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差,微电子洁净厂房的设计要考虑一定的灵活性,采用的是组合式空调机组(MAU处理新风) 干盘管(DCC处理回风) FFU(高效送风口)空调系统形式,让企业少走生清文学网弯路,除此之外,洁净区与室外的压差。
给排水和通排风都需要依据一定的标准建设,具体分析微电子洁净车间的装修设计,综合技术能力强,以维持室内的空气洁净度,应取下列三项中的最大值:为保证空气洁净度等级的送风量;根据热、湿负荷计算确定的送风量;向洁净室内供给的新鲜空气量,因为经过滤处理送入洁净室内的清洁空气除了要处理室内的余热、余湿外。
以CEIDI西递做的某微电子洁净车间为例,用新风空调机组处理后的洁净空气作为消防补风,在此项目中,所以洁净室与周围空间必须保持一定的压差,才能做到设计合理,设计师进行净化空调系统设计时,冬季负荷冬季负荷:空调箱新风系统负荷1598kW。